Блок № 23. Питание насоса "Орбитрон"

Реставрация блока питания ионного насоса типа "Орбитрон". Это последний из трёх блоков, расположенный непосредственно под колонной микроскопа.

Блок питания такого типа высоковакуумного насоса должен давать высокое напряжение до 6кВ с достаточно большой мощностью - около 300 Вт. Режим работы - с перерывами, т.е. насосы включаются по требованию и на ограниченное время, иначе возможен перегрев самого насоса с выходом его из строя.

Отличительной особенностью орбитронного насоса является то, что он имеет лучшие откачные характеристики по откачке инертных газов, чем остальные типы геттерных насосов. А в этом микроскопе для ионного травления используется ксенон!
электронный микроскоп scanning electron microscope tesla bs350 tesla bs-350 bs350
0 комментариев