АСУ ТП вакуумной системы напыления нано-композитных покрытий
Логически АСУ ТП разделена на две части – управление вакуумной установкой на этапе подготовки к процессу напыления и собственно управление технологическим процессом.
Управление вакуумной установкой включает операции от момента загрузки изделия в камеру до нагрева изделия до температуры нанесения покрытия. Это последовательность: откачка камеры, охлаждение камеры и МРС, нагрев изделия, температуры изделия и охлаждающей воды, запись соответствующих параметров и отображение изменения температуры и ва-куума в графическом виде.
Вся информация об управлении вакуумной установкой выводится на экран с мнемосхемой вакуумной камеры и соответствующих внешних устройств.
Все действия оператора и ход выполнения программы записываются в журнал.